· PDC200/500모델은 RIE(반응성 이온 에칭) 플라즈마 모드, 옵션으로 DP(직접 플라즈마) 모드선택
· 플라즈마 균일성을 위한 우수한 전극 구조와 간단한 터치 패널

· 적용 분야
– CSP, BGA, COB 개질의 플라즈마 처리
– 유기막 및 금속 산화막 제거
– 인쇄 회로 기판(PCB)의 드라이 클리닝
– 계면활성제 공정
– LED 조립
– R&D