제품소개
· PR500 시리즈는 진동 섹션이 챔버의 일부와 통합된 컴팩트한 디자인
· 자동 튜닝 시스템을 기본으로 탑재하여 뛰어난 조작성 및 안전성
· 대형 샘플을 테스트할 수 있는 대형 석영 챔버(ø215mm)
· 적용 분야
– 포토레지스트(photoresist) 제거
– 부품 세척
– 계면활성제 제거
– 미세 연마
– 웨이퍼 및 유리 기판에 해당
제품특징
PR500/510
· PR500 Manual version
PR500/510
· PR510 Touch pannel version
PR500/510
· Gas Plasma Reactor PR500/510 조작패널
PR500/510
· Gas Plasma Reactor PR500/510 챔버
PR500/510
· Gas Plasma Reactor PR500/510 챔버
제품스펙
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